Klimachip

Multifunktionaler Klimachip

Mikrosystemtechnik ersetzt Thermodrähte

Zur Herstellung des Klimachips werden unterschiedliche Mikrosystemtechniken zusammengeführt. Jeweils ein Thermoschenkel der Thermosäule besteht aus einer strukturierten metallischen Dünnschicht. Der zweite Thermoelementschenkel wird mit einem kamerageführten Ultraschallschweißapparat anwendungsspezifisch aufgebracht. Die dabei verwendeten <25µm-Metalldrähte bilden eine Kette mit bis zu 300 Thermoelementen auf der vorstrukturierten Fläche von 8x4mm. Beim Strukturieren der metallischen Dünnschicht werden nicht nur anwendungsspezifisch ausgelegte Heizelemente eingebettet. Im selben Fertigungsschritt entstehen die elektrischen Zuleitungen und dimensionierten Flächen für die integrierte Taupunktmessung.

Die konsequente Verknüpfung automatisierter Verfahren aus den Bereichen Dünnschicht-, Mikroschweiß- und Coatingtechnologie führt zu einer grundlegenden Erweiterung des Messens mit Thermoelementen.

Bei konstantem Installationsaufwand deckt der Klimachip mehrere Funktionen ab: Messung der gefühlten Temperatur; der Lufttemperatur; Luftströmungsmessung; Taupunkt- und Feuchtebestimmung.